我要找设备:
 
  • 设备名称

    扫描电镜

  • 设备型号

    TESCAN VEGA COMPACT

  • 该设备数量

    1

  • 服务收费标准

    200元每个样品(每样品提供6-8张左右,具体根据样品的拍摄情况而定)

  • 设备联系人

    易征然

  • 联系方式

    15827116559

  • 所属实验室名称

    集成电路创新平台实验室

  • 设备类型

    物理测试

  • 性能指标

    设备样品仓直径230mm;样品台行程X=80mm,Y=60mm,Z=50mm;样品台为五轴(X,Y,Z,R,T)马达样品台;样品室红外CCD监视器。对样品表面进行高分辨形貌观察,最小精度200 nm。

  • 备注及说明

    一、制样说明 粉末、液体、薄膜、块体均可测试,粉体样品大概10mg,块体样品要求长宽小于1cm,厚度小于1cm。 1、粉体样品,常规粉末直接粘到导电胶上测试,如需分散后测试请提前说明; 2、液体样品,测试老师根据样品要求及实验室条件,随机选择滴到导电胶或硅片上,如有指定要求请提前说明; 3,薄膜或块体,请标明测试面,如需测试截面,请自行自备截面或提前说明。 二、样品要求 仅针对材料类样品,生物等样品另外说明。要求样品无毒、无放射性、干燥无污染、热稳定性好、耐电子束轰击。 1,样品是否导电 对于不导电或导电性差的样品,建议做喷金处理(以增强样品的导电性),默认喷金时长50s,如需延长喷金时间或喷碳等请提前说明。 2,样品是否有磁性 磁性颗粒,易吸附到极靴上,原则上电镜SEM不拍磁性样品。

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