我要找设备:
 
  • 设备名称

    反应离子蚀刻机

  • 设备型号

    中科泰龙

  • 该设备数量

    1

  • 服务收费标准

    面议

  • 设备联系人

    钟碧麟

  • 联系方式

    0756-3635361

  • 所属实验室名称

    洪启检测分析实验室

  • 设备类型

    物理测试

  • 性能指标

    刻蚀范围:硅基:Si、SiNx、SiO2、Ge、GeSi等;有机物、Ⅲ-Ⅴ、蓝宝石、SiC、金属(Au、Ag、W)等

    表面改性、干法去胶等

    支持8英寸或以下尺寸整片以及碎片刻蚀

    气路数量可根据用户需求配置

    水冷控温,选配背氦控温

    软硬件互锁机制

    基于Windows操作软件,具备系统监测、工艺编辑、参数显示等功能,具备储存工艺日志和操作记录的能力

    可基于用户需求定制


  • 备注及说明

主管单位:珠海市工业和信息化局        承办单位:珠海市中小企业服务中心

版权所有:珠海市工业和信息化局

联系电话:2111177

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